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真空镀膜靶材发黑?那么可能是中毒了

日期:2019-03-29点击数:184赞数:0

      好多人都在私聊小编,问发现这个靶材黑化了,出现这种中毒的迹象该怎么办呢。
      具体情况如下:
      首先呢。我们肯定要先了解靶材中毒是怎么回事?
      靶材中毒是由于在溅射过程中带有正电的离子聚集在靶表面。然后并没有得到中和,便出现靶表面负偏压逐步下降, 干脆闹脾气x不工作了。这所谓的靶中毒现象。
      一、对于影响靶材中毒的因素是什么呢?
      1.影响靶中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例,反应气体过量 会导致靶中毒。反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新暴露金属表面此消彼长的过程。
      2.真空室漏气或漏水
      3.真空室内有没有挥发完的成分
      二、对于靶中毒的解决办法
      1、采用中频电源或射频电源打一个到两个小时,可以恢复。
      2、采用闭环控制反应气体的通入量。
      3.将靶材拆出来,用砂纸抛光,也可解决。
      4、控制镀膜模式的变换:在镀膜前,采集靶中毒的迟滞效应曲线,使进气流量控制在产生靶中毒的前沿,确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。
      防止靶材中毒,首先要保证真空室不漏。清理内部,除去挥发成分等。



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